合同编号：黔教合KY[2014]217

1 1 实验室介绍

（1）实验室总体目标

搭建一个以等离子体技术进行光电功能薄膜制备、改性及模拟、光电功能材料设计及表征及光电功能器件设计及制造工艺研究和技术成果为基础，以产学研合作为纽带，以解决贵州新能源、航空电子产业及科学大数据领域发展中的重大基础性问题为目标，形成理论、算法、技术开发及工程应用为一体，跨物理、材料物理、材料化学、并行运算、微电子等多交叉学科的综合性实验室。发挥现有的特长和优势，形成对外开放、具有较大影响力的光电功能材料科研和人才培养基地。

（2）实验室概况

实验室主要成员 19 人。其中，教授 2 人，副教授 10 人，讲师5 人，助教 2 人。具有博士学位成员 11 人，硕士 8 人。实验室成员近三年获国家级课题 2 项，省、厅级课题 16 项，校级课题 15 项，发表论文近百篇，SCI、EI 收录 50 多篇。3 年来，纵向科研经费达到483.2 万元。

实验室下设三个主要研究方向：

1).光电功能薄膜制备、改性及模拟，主要负责人周筑文。该研究方向主要研究采用 ICP 等离子体试验装置， 主要开展等离子体材料处理，等离子体刻蚀，等离子体加强化学沉积（PECVD）应用研究；开展先进功能薄膜材料的制备与应用研究,注重沉积过程中物理机制的探索；使用 oopic 等完成等离子体模拟仿真实验,开展等离子体材料改性研究。

2).光电功能材料设计及表征，主要负责人令狐荣锋。该方向主要开展新型光电功能材料（金属、半导体、非金属）物理、化学特性研究，为信息传输、存储、发光、光转换等领域提供理论基础。开展GaN、TiO2 等薄膜材料的力学、光学、电学、磁学等物理特性研究，为新型光电子器件和气敏传感器件的开发和应用提供必要的实验和理论支撑。

3).光电功能器件设计及制造工艺，主要负责人陈德良。基于新型光电功能材料的特性去设计太阳能电池、集成电路、光开关、发光器件、光存储、光计算及光互联等器件的功能单元，利用半导体仿真软件 slivaco TCAD 仿真这些功能单元光电特性，并进行优化，优化参数可以为纳米光电材料的设计与改进提供参考。

（3）实验室 主要负责人介绍

周筑文，男，教授，贵州师范学院物理与电子科学学院院长，贵州师范学院中青年骨干教师、学科带头人。2006 年从美国加州伯克利大学回国， 长期从事等离子体物理理论与实验的研究工作。 近年来，主持贵州省科技厅自然科学项目基金 2 项， 贵州省教育厅自然科学项目基金 4 项。发表论文 40 余篇（其中 SCI 收录 8 篇，EI 收录 2 篇，核心期刊 10 篇） 专著 2 部，专利 2 项。

令狐荣锋，男，教授，博士，贵州师范学院副校长，贵州师范学院校级学科带头人，贵州省物理学会理事长。近年来一直从事原子与分子物理光电功能材料研究。先后主持国家自然科学基金项目、贵州省科学技术基金项目、 贵州省优秀科技教育人才省长专项基金项目等重点项目，具有较强的科研实力。近年来出版专著一部，发表学术论文 80 多篇，被 SCI 收录 20 余篇。

陈德良，男，副教授， 四川大学光学工程（光电子技术方向）专业博士毕业，教育部光电信息科学与工程教学指导委员会协作委员，主要从事光刻技术及光电功能器件方面的研究。博士期间作为主研人员参加了国家重大科技专项课题和国家 863 高技术计划课题， 有较高的项目管理能力和深厚的专业理论基础。 目前在研贵州省教育厅和科技厅项目 3 项，发表论文 10 余篇，其中 5 篇 SCI 收录，2 篇 EI收录。